加速电压：200 kV 放大倍数：小于105万倍
点分辨率：0.24 nm 线分辨率：0.14 nm
STEM (HAADF)分辨率：0.19 nm 电子束能量色散：<0.7 eV
束流：>100 nA 1 nm束斑束流：>0.5 nA
样品倾斜角：-40°~+40° 能量分辨率：~130 eV (Mn K线)
EDAX能谱仪 (EDS)：5B~92U
检测案例二
(Mapping)
检测案例三
（衍射）
