加速电压：80-200kV
电子枪：LaB6晶体
能谱仪：Link-Inca超薄窗口能谱仪
放大倍率：50-150万倍
分辨率：点分辨率≤0.23nm，线分辨率=0.14nm
加速电压稳定性：≤2ppm
物镜电流稳定性：≤1ppm
物镜色差系数：≤1.4mm
物镜球差系数：≤1.0mm
束斑尺寸:TEM mode: 优于20nm
EDS/NBD/CBD mode: 优于1.0nm
