180°半球能量分析器 能量范围：0～5,000 eV
Al Kα单色化XPS Mg/Al双阳极XPS
X射线束斑面积从900 μm到200 μm连续可调；
大束斑：Ag3d5/2（FWHM＝0.50eV）强度≥400 kcps；20 µm束斑 ：Ag3d5/2（FWHM＝0.45 eV）强度≥0.5 kcps；
大束斑：Ag3d5/2（FWHM＝0.8 eV）强度大于650 kcps；对Ag3d5/2线扫描的空间分辨率优于3 μm；
测量物体表面3-5 nm内的元素成分及价态；定性分析；定量分析；元素价态分析；离子刻蚀分析。
